之前我们介绍过《四探针电阻率测试仪的检定要求和环境》，本文再给大家介绍下四探针电阻率测试仪不同检定方法所需的设备。

　　一、检定四探针电阻率测试仪，如果用整体法检定，应具备下列设备：

　　1.一台放大倍数不低于400倍的工具显微镜，若干片抛光样片。

　　2.一台测力仪，测力仪的技术指标为：

　　(a)测力范围：0～9.8N

　　(b)测力仪总不确定度≤5%

　　3.三套共13个标称的标准样片，电阻率名义值为0.001，0.01，0.1，1，2.5，5，10，75，100，180，250，500，1000Ω·cm。

　　注：整体方法检定电阻率测试仪的标准样片，表面应没有任何脏物，长期使用应注意定期清洗(按标准样片使用说明中规定的方法清洗)，以保持样片表面的清洁。

　　二、检定四探针电阻率测试仪，如果用分部件检定，还应具备下列设备：

　　1.一套标准电阻，标准电阻的标称值为0.001，0.01，0.1，1，10，100，1000Ω共七个阻值。其电阻本身具有温度修正系数，以备作模拟电路的电阻r。

　　2.若干只不同标称值的一般电阻，以备作模拟电路的电阻R。

　　3.0.1℃分度值的温度计一只。

　　另外再补充介绍下四探针电阻率测试仪的探头检定。

　　1、测量探针压力：用测力仪测出每根针的力及四根针的合力。

　　2、观察探针压痕形状。测量压痕直径和间距。

　　用一个抛光面的硅片，在被检仪器四探针的力为合格值时，压10组压痕(注意10组压痕的排列顺序，不可弄乱)。然后用显微镜观察每个压痕的形状，读出Y轴YA和YB读数(即每组压痕中的zui大值与zui小值)，并算出YA和YB的差值。然后测量压痕直径及相邻两个压痕之间的距离。合格的探针压痕是指触点均匀接触，而无滑动的痕迹。探针压痕的直径和间距按公式计算。

　　以上是四探针电阻率测试仪不同检定方法所需设备的全部内容，更多信息咨询!