电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多，四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便，度高，对样品的形状无严格要求。

　　电阻率测试仪是用来测量半导体材料及工艺硅片的电阻率，或扩散层及外延层方块电阻的测量仪器。一般的四探针电阻率测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。

　　四探针电阻率测试仪检定的技术要求

　　1、整体方法检定电阻率测试仪的标准样片，表面应没有任何脏物，长期使用应注意定期清洗(按标准样片使用说明中规定的方法清洗)，以保持样片表面的清洁。

　　*测量时用表中所列的样片，如发现电流表示值调不上去或其中有一个表示值超过zui大值时，则需要更换一个名义值较大的标准样片。如1Ω·cm需换成5Ω·cm。

　　2、用模拟电路法检定四探针测试仪电气部分的V/I比时，电阻r和R有如下要求。

　　模拟电路法的电阻计算公式如下：

　　式中：Vav-电流正反向测量r上电压降的平均值;

　　Rs-标准电阻值;

　　Vsv-标准电阻上的电压降平均值;

　　Iav-正反向电流的平均值。

　　3、各种型号的四探针电阻率测试仪技术指标，应符合出厂技术说明书的要求。

　　四探针电阻率测试仪的检定环境条件

　　电阻率测试仪的检定应在恒温清洁室内进行。检定前，仪器和所用的标准仪器设备应在恒温室内旋转12h以上。在检定过程中发现有静电感应或泄漏电流的现象，则应采取相应的屏蔽或接地措施消除。